Victory RCx
Victory RCx 的功能
Victory RCx 是基于物理的场求解器，可在三维中提取寄生参数。它适用于任意形状的结构，包括工艺仿真得到的刻蚀和沉积轮廓，专为单元级精细分析设计。您选择精度，网格自适应调整以达到要求。输出为 SPICE 网表。全芯片任务由 Hipex 的基于规则的提取器处理，Victory RCx 则处理规则文件无法描述其形状的单元。
功能
五组功能：求解器本身、可处理的几何结构、发挥价值的两个
应用领域，以及最终输出。
场求解器
基于完整 3D 几何结构中的物理机制求解电阻和电容，不从预先表征的图形中查表获取数值。您可选择多种求解器，并自行设置求解容差、材料属性和边界条件。
结构处理
求解包含浮置导体和虚拟导体。单个导体的电容按其耦合到的各区域分解，使您能够查看电容分布。可在工具内构建简单的 Manhattan 几何结构。对于曲面和非平面形状，结构直接来自 Victory Process，并完整保留仿真的刻蚀和沉积轮廓。
先进节点
Victory RCx 分析 FinFET 中段工艺中的栅极与接触电容。这类几何结构密集且完全三维化。基于规则的提取可能无法满足要求，而所需的 LPE 规则文件也可能尚不存在。
显示与光学
显示领域的分析不止于 RC。求解器支持光学器件、LCD 和触控面板结构。具有电压相关介电常数的 LCD 物理模型可跟踪电容和液晶指向矢方向随偏置的变化。扫描波长和像素电压以查看单元的透射率、反射率和对比度，再检查光源切换时的瞬态响应。
输出
寄生参数以标准 SPICE 网表输出，可直接用于您现有的电路仿真器。收紧容差时，自适应网格仅在必要位置细化。放宽容差则可缩短运行时间。
在 TCAD 流程中的位置
输入：来自 Victory Process 的 3D 仿真结构，必要时在 Victory Mesh 中细化。
输出：用于电路仿真的 SPICE 网表。在设计端，Hipex-FS 在
Expert 版图编辑器中运行相同的求解器。
本工具
Victory RCx
求解 R 和 C
输出
SPICE 网表
电路仿真
配套
Hipex-FS
在 Expert 版图编辑器中使用相同求解器
验证与资源
期刊文章 · Simulation Standard
2022 年 2 月
使用 Victory Process 创建真实结构以在 Clever 中提取电容
导入 Victory Process 仿真结构进行场求解器提取。Clever 是 Victory RCx 的旧名称。
完整示例
2025 年 7 月
Hipex 寄生电容提取的场求解器 (Victory RCx) 模式
在 Expert 中基于示例版图逐步运行求解器。
演示文稿 · 2022
寄生参数提取 Victory RCx Pro 和 Hipex FS – 集成全芯片与单元级 RCX，结合基于规则和场求解器的解决方案
演示文稿
2022 年 2 月
寄生参数提取 – 全芯片与单元级 RC 提取
产品简介
2025 年 7 月
Victory RCx Pro – 面向真实 3D 结构的 RC 提取器
网络研讨会 · 2018
使用真实 3D TCAD 结构进行精确寄生 RC 提取
评估 Victory RCx 或获取支持
寄生参数提取常见问题
什么是 3D 场求解器寄生参数提取？
它通过求解结构真实 3D 几何内部的电场来计算寄生电阻和电容，而规则文件则通过查表获取数值。结构在三维中划分网格，因此弯曲侧壁和浮置导体均纳入结果。
什么时候需要场求解器而非基于规则的提取？
当几何结构过于复杂、规则文件无法准确描述，或工艺尚无 LPE 规则文件时。典型示例包括 FinFET 中段工艺结构和真实刻蚀轮廓。对于全芯片提取，基于规则的工具仍是实用选择。
Victory RCx 与 Hipex 有何区别？
两者使用相同的场求解器，但起点不同。Victory RCx 在 TCAD 端处理来自工艺仿真的 3D 结构。Hipex-FS 从 Expert 编辑器中的版图开始，而 Hipex-RC 是 Silvaco 面向全芯片任务的基于规则的提取器。
Victory RCx 能否使用工艺仿真生成的结构？
可以，它直接从 Victory Process 构建的 3D 结构中提取，保留仿真的刻蚀和沉积形状。Victory Mesh 可在提取之前细化结构网格。对于直角侧壁的 Manhattan 形状，可跳过工艺仿真，直接在 Victory RCx 中构建结构。
它能否处理 FinFET 中段工艺电容？
可以。Victory RCx 的分析之一就是 FinFET 中段工艺中栅极与接触之间的电容。这些数值随后进入 SPICE，使您可在制造硅器件之前仿真其对电路的影响。
它生成什么输出格式？
SPICE 网表。任何能够读取 SPICE 的电路仿真器都可接收提取的寄生参数，因此适合团队现有的流程。精度与运行时间需要权衡，您设置的容差决定每次运行的取舍。
TCAD 套件的其他工具
Victory Process
Victory Device
Utmost IV
Victory RCx
Victory Mesh