Victory Mesh
Victory Mesh 的功能
Victory Mesh 可对 2D 和 3D TCAD 结构进行网格划分、细化和编辑，并通过实体建模创建新结构。得到的网格适合器件仿真或参数提取仿真需要解析的物理过程。它是工艺与器件之间的 TCAD 网格生成步骤。输入 Victory Process 的原始几何和掺杂，或在此构建的结构，即可获得为器件仿真或 3D 寄生参数提取细化的网格，细化过程按照您设定的规范自动执行。
TCAD 网格生成、细化和实体建模
为当前结构选择网格方案，然后指定细化目标。
网格划分方案
Delaunay 网格划分自动执行。它不依赖固定网格进行采样，而是在局部细化，并围绕您指定优先处理的材料、界面和物理量构建网格。
共形网格划分由您指定。它生成半结构化笛卡尔网格，沿各坐标轴分别细化，使网格线准确位于您指定的位置。
细化
Delaunay 网格提供八种局部细化方案，既有通用方案，也有专用于器件的方案：均匀、杂质、结、等值面、界面、形状、近似距离和质量。
任一方案均可针对特定材料或自定义属性。这样可使结区获得精细分辨率，而其下方的衬底保持较粗网格。
实体建模
生成并变换形状，连接和裁剪结构，添加解析掺杂分布。这些功能足以使用带高斯掺杂的自定义形状构建器件，或拆分现有器件。
典型任务包括：将对称器件的一部分镜像为完整器件，将压缩器件拉伸恢复到实际尺寸，裁剪或切出区域以便详细查看，将区域替换为模拟的多晶晶粒，或弯曲现有结构。您构建或编辑的任何结构均可在仿真前重新划分网格。
输入与输出
n：Silvaco 标准结构文件 (.str)，2D 或 3D，以及 Victory Process. 的已保存状态。
输出：交给 Victory Device 进行器件物理仿真，交给 Victory RCx 进行场求解器 RC 提取，或以 .stl 或 .vtk 格式交给第三方软件。通过 Deckbuild 界面运行，并可先在 Victory Visual 中检查结果。
在 TCAD 流程中的位置
输入：来自 Victory Process 的结构，或在此通过实体建模构建的结构。
输出至：Victory Device、Victory RCx 或第三方工具。
输入
结构
来自 Victory Process,或在此通过实体建模构建
本工具
Victory Mesh
网格划分、细化、编辑
输出
Victory Device
器件仿真
配套
Victory RCx
场求解器提取
配套
第三方工具
标准格式：.stl 和 .vtk
已发表研究和操作指南
此处的所有资料（包括论文）均无需填写表单即可打开。
Simulation Standard
2022 年 2 月
1200 V 垂直 GaN FinFET 的 TCAD 击穿仿真
Dynex Semiconductor 的工程师在 Victory Process 中重建垂直 GaN FinFET 工艺流程，在 Victory Mesh 中生成网格，随后仿真击穿行为。
网络研讨会
2022 年 2 月
了解如何使用 Silvaco 的 Victory Mesh TCAD 解决方案进行器件网格划分
比较共形和 Delaunay 网格划分，并介绍两者如何将工艺结构转化为适用于器件仿真的网格。
Simulation Standard
2022 年 2 月
如何在 Victory Mesh 中使用自定义体网格重新划分结构网格？
使用 Line 语句设置体网格，并以通过实体建模构建的 FinFET 及从 Victory Process 导入的 LDMOS 为例进行说明。
网络研讨会
2022 年 2 月
如何使用 Victory Mesh 重新划分网格以优化 TCAD 器件仿真
将 Victory Process 结构转化为适用于器件仿真的网格，使用共形和 Delaunay 方法对界面、结、杂质和区域进行细化。
提示与技巧
2022 年 2 月
如何在 Victory Mesh 中加载现有器件结构、重新划分网格并进行细化？
加载一个结构文件，将棱柱单元转为四面体，然后重新划分并细化网格，无需重建任何结构。
产品简介 · PDF
2022 年 2 月
Victory Mesh：网格划分和实体建模
四页内容涵盖功能以及从量子点到 MicroLED 的五个结构实例。
三种入门方式
Victory Mesh 常见问题
Victory Mesh 有哪些功能？
Victory Mesh 将 TCAD 结构转化为求解器可使用的网格。它对 2D 和 3D 结构进行网格划分和细化，并通过裁剪、切片、镜像或拉伸编辑结构。它还可通过实体建模创建包括掺杂在内的新结构。结果用于器件仿真或场求解器提取，每次编辑后都可重新划分网格。
为什么网格质量对 TCAD 仿真很重要？
网格决定求解器可解析的细节。如果结或界面处的网格过粗，决定器件行为的陡峭梯度就会在结果中被平均化。整体采用精细网格并非解决办法。局部细化将网格单元集中在重要特征处，并使其他位置保持稀疏。
Delaunay 与共形网格划分有何区别？
Delaunay 是自动非结构化网格：它跟随结构特征，并在所选材料、界面或物理量需要的位置细化。共形网格由用户指定，是按坐标轴细化的半结构化笛卡尔网格，使网格线保持在设定位置。八种局部细化方案属于 Delaunay；共形网格适用于需要可预测网格的流程。
能否不运行工艺仿真就构建器件结构？
可以。实体建模直接构建器件：生成并连接自定义形状，加入解析或高斯掺杂，变换几何结构，然后重新划分网格并仿真。可用于尚无工艺流程的几何结构，也适用于深刻蚀沟槽和纹理化太阳能电池表面等通过工艺仿真构建较慢的特征。
Victory Mesh 可导入和导出哪些文件格式？
它可打开二维或三维 Silvaco 结构文件 (.str) 以及 Victory Process 的已保存状态。Victory Device 和 Victory RCx 均直接接收其输出，分别用于器件物理和场求解器 RC 提取。对于 Silvaco 以外的软件，它可导出 .stl 和 .vtk。
Victory Mesh 能否导出到第三方工具？
可以。它可导出 .stl 和 .vtk，这两种标准格式均可由 Silvaco 以外的软件读取。在此完成网格划分和细化的结构可在该步骤离开 Silvaco 流程，直接进入团队已用于下一步骤的第三方工具。
TCAD 套件的其他工具
Victory Process
Victory Device
Utmost IV
Victory RCx
Victory Mesh