Victory DoE
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Victory DoE：面向 TCAD 仿真的实验设计
以 TCAD 仿真代替晶圆批次开展分组实验，覆盖超出晶圆预算所允许范围的工艺和器件空间。
Victory DoE 的功能
Victory DoE 是 Silvaco TCAD 流程中的实验设计工具。它将实验计划转化为 TCAD 运行表，并将所有输出收集到一张结果表中。基准仿真输入文件通过 set 命令赋予的任意值都可成为输入。以往需要晶圆分组实验才能回答的问题，如今可转化为一批仿真运行，其物理基础已得到团队认可。
Victory DoE 功能
项目管理
项目置于采用目录树布局的 GUI 工作区中，内置复制、粘贴、归档、清理和锁定功能。可按名称、时间、标记、注释或文件大小搜索或排序。同时打开多个项目，两名工程师共同开展一项研究时还可共享工作区。
DoE 构建器
选择因子设计、响应面设计或空间填充设计，或让 Smart DoE 为您构建 D-最优设计。可扩充已运行的设计，并对不允许访问的空间区域添加约束。在消耗计算资源之前，先将表格可视化，再通过设计空间比例图和统计功效分析进行检查。二者都能帮助判断计划能否回答您的问题。
结果
基准仿真输入文件中的每条 extract 命令都会自动生成一列。每个项目使用一张表，将各项输出与产生该输出的输入并列保存。表格以 CSV 格式保存，Excel 和其他分析工具无需转换即可读取。
可视化
图表在 Victory Visual 中打开，项目的所有可视化文件集中保存。将多个条件叠加到同一组坐标轴上，即可观察不同分组条件之间的差异。
执行
实验在 DeckBuild 环境中运行。您可实时观察每个结构的形成，从而在运行结束之前发现不良条件。分布式运行通过 IBM 的 LSF（Load Sharing Facility）实现。
如何融入 TCAD 流程
输入
现有的 DeckBuild 仿真输入文件保持不变，其中包含 Victory Process 和 Victory Device 步骤。
传递至
Victory Analytics 用于拟合和建模；Victory Visual 用于绘图和叠加显示；FTCO 利用结果集训练非线性模型。
工程师的应用用途
阅读资料与录像
Victory DoE——实验设计
唯一专门介绍此工具的已发布文档。以上功能集以便于发送给他人的形式呈现。1.6 MB。
在晶圆厂技术协同优化（FTCO™）中应用人工智能
网络研讨会。工艺团队如何将 DoE 从实际加工晶圆转移到基于物理的数字孪生。
SURGE 2025：如何利用 Victory Analytics 和机器学习校准 TCAD 数据
会议演讲。在实验后的步骤中，使用 Victory Analytics 中的机器学习校准 TCAD 数据。
使用自己的仿真输入文件进行试用
带上一项原本需要通过晶圆分组实验回答的研究，以及仿真输入文件和计划运行的
集群。此工具不提供自助下载。您将使用自己的仿真输入文件评估 Victory DoE，
并有应用工程师与您协作。
关于 Victory DoE 的问题
Victory DoE 有哪些功能？
Victory DoE 基于 TCAD 仿真开展实验设计研究。您从 DeckBuild 基准仿真输入文件中选择变量，每个条件的输出均汇集到同一张表中，并与对应输入匹配。无需为每个分组条件消耗一批晶圆，即可研究多变量工艺和器件问题。
它支持哪些 DoE 算法？
Silvaco 明确列出一种算法：计算机生成的 D-最优设计，称为 Smart DoE。页面称构建器提供多种算法，但未逐一列出其余算法，并为非规则矩形区域的设计提供扩充和约束选项。请索取完整清单，而不要自行假设支持某种算法。
Victory DoE 是否需要 DeckBuild？
它专为与 DeckBuild 配合使用而构建。Silvaco 表示 Victory DoE 与 DeckBuild 环境兼容，运行的是 DeckBuild 仿真输入文件，因此可保留现有的编辑、调试和可视化功能。DeckBuild 是 Victory TCAD Lab 的组成部分。
实验能否在集群上运行？
可以，通过 LSF——IBM 的 Load Sharing Facility。这是 Silvaco 为该工具明确列出的唯一调度器。如果集群使用 Slurm、SGE 或其他调度器，请在规划前咨询，不要假设其支持未公布的功能。
结果如何传入 Victory Analytics？
可直接传入。Silvaco 的表述是，可轻松将结果和数据传入 Victory Analytics 进行分析和建模，并确定后续步骤。结果表也以 CSV 格式保存，因此任何可读取 CSV 的工具均可使用。
什么是设计空间比例图？
这是一种在投入计算资源之前评估设计的方法。它绘制预测方差低于给定水平的设计空间比例，使您能够判断实验能否有效解析所关注的区域，还是只能解析该区域的中心。
TCAD 套件的其他工具
FTCO
基于 TCAD 数据进行校准、优化和代理建模。
Victory Analytics
对实验生成的数据进行机器学习分析和建模。
Victory Visual
为每项 TCAD 结果提供交互式 3D 视图、切平面和探测功能。
TCAD
Victory Process、Victory Device 以及 Silvaco 的其他工艺和器件仿真工具。