Victory Process 2D – SUPREM 기반 시뮬레이터의 혁신적인 대안으로서 강력한 3D 솔루션을 보장
스탠포드 대학의 SUPREM-IV에 기초한 2D 공정 시뮬레이터는 거의 30년 동안 반도체 연구와 산업에 사용되었습니다. 반도체 기술의 엄청난 발전은 차세대 TCAD 툴의 출현을 요청하고 있습니다. Victory Process 시뮬레이터는 강력한 1D/2D/3D 공정 시뮬레이션 솔루션을 제공하여 새로운 물질과 공정을 원활하게 도입할 수 있으므로, 현재와 미래의 업계 요청사항을 대부분 충족합니다.
Victory Process는 데이터 구조, 그리드, 솔버를 포함한 혁신적인 기술을 많이 사용하여, 기존 공정 시뮬레이터에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다. 또한, Victory Process는 기존 시뮬레이터로부터의 원활한 전환을 통해 비교적 쉽게 익힐 수 있습니다. 이번 시간에 Athena 대신에 Victory Process 2D (VP2D)를 활용하거나 완전한 3D 시뮬레이션으로 전환하는 방법을 소개합니다.
다음 사항을 살펴봅니다.
- Athena와 Victory Process의 주요 차이점
- DeckBuild 유틸리티 A2VP를 사용하여, 기존 SUPREM 기반 데크를 VP2D로 변환
- 시뮬레이션 메쉬 설정, 제어 및 세분화/비세분화 방법
- 레이아웃에 기초한 공정 시뮬레이션 사용 방법
- 기본적인 기하학적, 물리적 식각 및 증착 모델을 사용하는 방법
- 시각화 및 소자 시뮬레이션을 위해 2D 구조를 도출하는 방법
발표
Misha Temkin 박사는 실바코 본사의 TCAD 선임 애플리케이션 엔지니어입니다. 40년 전 구 소련에서 이온 주입 이론과 시뮬레이션에 관한 2권의 책과 20편의 논문을 공동 저술하여 경력을 쌓기 시작했습니다. 1989년 실바코에 입사한 후, Athena 공정 시뮬레이터의 개발과 지원을 이끌었으며, 지난 5년간 Athena에서 Victory Process로의 전환에 주력하였습니다.
일시: 2016년 12월 9일
장소: 온라인
시각: 3:00am-3:30am (한국 시각)
언어: 영어
참석 대상
공정 및 소자 엔지니어 및 연구원, 현재 및 미래의 TCAD 소프트웨어 사용자.