Victory RCx
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Victory RCx：3Dフィールドソルバーによる寄生成分抽出
Victory RCxは、エッチングされた側壁を含め、実際のプロセスで形成される3D構造から抵抗と容量を抽出します。回路シミュレーションに渡す寄生成分抽出結果は、概算ではなく、解析によって得られた値です。
Victory RCxでできること
Victory RCxは、3次元で寄生成分を抽出する物理ベースのフィールドソルバーです。プロセスシミュレーションで得られたエッチング・成膜プロファイルを含む、任意形状の構造を扱います。セルレベルの詳細な解析向けに設計されています。精度を指定すると、その精度に達するようメッシュが適応します。出力はSPICEネットリストです。フルチップ解析にはHipexのルールベース抽出を使用し、ルールデッキでは形状を記述できないセルをVictory RCxが担当します。
機能
5つの分野：ソルバー自体、対応する形状、効果を発揮する
2つの用途、そして最終的な出力です。
フィールドソルバー
事前に特性評価したパターンを参照することなく、3D形状全体の物理に基づいて抵抗と容量を求めます。複数のソルバーから選択し、解の許容誤差、材料特性、境界条件を設定できます。
構造の取り扱い
浮遊導体とダミー導体も解析に含まれます。単一導体からの容量は、結合する各領域に分けて求められるため、どこに結合しているかを確認できます。単純なマンハッタン形状はツール内で構築できます。曲面や非平面形状は、エッチングと成膜のシミュレーション結果を保ったまま、Victory Processから直接取り込みます。
先端ノード
Victory RCxは、FinFETのミドル・エンド・オブ・ラインにおけるゲート-コンタクト間容量を解析します。この形状は高密度で、完全に3次元です。この領域ではルールベース抽出では不十分な場合があり、必要なLPEデッキがまだ存在しないこともあります。
ディスプレイと光学
ディスプレイ解析では、RC以上の情報を得られます。ソルバーは光デバイス、LCD、タッチパネル構造を扱います。電圧依存の誘電率を持つLCD物理モデルが、バイアスによる容量と液晶ダイレクタ配向の変化を追跡します。波長と画素電圧をスイープして、セルの透過率、反射率、コントラストを確認できます。さらに、光源の切り替えに伴う過渡応答も確認できます。
出力
寄生成分は標準SPICEネットリストとして出力されるため、現在使用している回路シミュレータに直接取り込めます。許容誤差を厳しくすると、適応メッシュが必要な場所だけを細分化します。緩めれば計算を早く完了できます。
TCADフローにおける位置付け
入力：Victory Processでシミュレーションした3D構造。必要に応じてVictory Meshで細分化します。
出力：回路シミュレーション用のSPICEネットリスト。設計側では、Hipex-FSがExpertレイアウトエディタ内から
同じソルバーを実行します。
本ツール
Victory RCx
RとCを解析
出力
SPICEネットリスト
回路シミュレーション
併用
Hipex-FS
Expertレイアウトエディタ内で同じソルバーを使用
実績とリソース
技術誌記事 · Simulation Standard
2022年2月
Victory Processを使用した、Cleverでの容量抽出向け実形状構造の作成
Victory Processでシミュレーションした構造をインポートし、フィールドソルバーで抽出します。CleverはVictory RCxの旧名称です。
実践例
2025年7月
Hipex寄生容量抽出のField Solver（Victory RCx）モード
サンプルレイアウトを使い、Expert内からソルバーを実行する手順を説明します。
プレゼンテーション · 2022
寄生成分抽出Victory RCx ProとHipex FS – ルールベースとフィールドソルバーを組み合わせたフルチップ・セルレベル統合RCX
プレゼンテーション
2022年2月
寄生成分抽出 – フルチップおよびセルレベルのRC抽出
製品概要
2025年7月
Victory RCx Pro – 実際の3D構造向けRC抽出ツール
ウェビナー · 2018
実際の3D TCAD構造を使用した高精度な寄生RC抽出
Victory RCxの評価またはサポート
評価をご検討の方
ルールデッキですでに抽出したセル、またはシリコン測定値と照合したセルをご用意ください。正式な評価に時間をかける前に、その形状でフィールド解析が結果を変えるかどうかを、当社の技術専門家がご案内します。
お困りの方
サポートポータルでケースを作成し、進捗を確認できます。利用には有効な保守契約が必要です。
寄生成分抽出に関する質問
3Dフィールドソルバーによる寄生成分抽出とは何ですか？
ルールデッキで値を参照する代わりに、実際の3D形状内の電界を解き、構造の寄生抵抗と寄生容量を計算することです。構造を3次元でメッシュ化するため、曲面の側壁や浮遊導体も結果に反映されます。
ルールベース抽出ではなく、フィールドソルバーが必要になるのはどのような場合ですか？
形状が詳細すぎてルールデッキでは正確に表現できない場合、またはそのプロセスのLPEルールデッキがまだ存在しない場合です。代表例はFinFETのミドル・エンド・オブ・ライン構造や、実際のエッチングプロファイルです。フルチップ抽出では、引き続きルールベースのツールが実用的な選択肢となります。
Victory RCxとHipexの違いは何ですか？
同じフィールドソルバーを使用しますが、出発点が異なります。Victory RCxはTCAD側で、プロセスシミュレーションの3D構造を扱います。Hipex-FSはExpertエディタ内のレイアウトから始めます。Hipex-RCは、フルチップ処理向けのSilvacoのルールベース抽出ツールです。
Victory RCxはプロセスシミュレーションの構造を使用できますか？
はい。Victory Processが構築した3D構造から、シミュレーションされたエッチング・成膜形状をそのまま使用して直接抽出します。抽出前にVictory Meshで構造のメッシュを細分化できます。直角の側面を持つマンハッタン形状であれば、プロセス計算を省略し、Victory RCx内で直接構築できます。
FinFETのミドル・エンド・オブ・ライン容量に対応していますか？
はい。ミドル・エンド・オブ・ラインにおけるFinFETのゲートとコンタクト間の容量は、Victory RCxが実行する解析の1つです。その値をSPICEに渡すことで、シリコンを製作する前に回路への影響をシミュレーションできます。
どの形式で出力しますか？
SPICEネットリストです。SPICEを読み込める回路シミュレータであれば抽出した寄生成分を取り込めるため、チームがすでに使用しているフローに適合します。精度と実行時間にはトレードオフがあり、設定する許容誤差によって各計算のバランスが決まります。
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