Victory Mesh
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Victory Mesh: TCAD 메시 생성 및 솔리드 모델링
모든 2D 또는 3D TCAD 구조에서 소자 물리에 필요한 위치에 메시 해상도를 집중하고, 시작할 공정 결과가 없을 때는 솔리드 모델링으로 구조를 생성하세요.
Victory Mesh의 기능
Victory Mesh는 2D 및 3D TCAD 구조의 메시를 생성하고 세분화하며 편집하고, 솔리드 모델링으로 새 구조를 만듭니다. 소자 또는 추출 시뮬레이션에서 해석해야 할 물리에 맞는 메시를 얻습니다. 공정과 소자 사이의 TCAD 메시 생성 단계입니다. Victory Process의 원시 형상과 도핑 또는 여기에서 만든 구조를 입력하면 소자 시뮬레이션이나 3D 기생성분 추출에 맞게 세분화된 메시를 얻으며, 세분화는 지정한 사양에 따라 자동으로 실행됩니다.
TCAD 메시 생성, 세분화 및 솔리드 모델링
현재 구조에 맞는 기법을 선택한 다음 세분화 대상을 지정하세요.
메싱 기법
Delaunay 메싱은 자동 방식입니다. 고정 격자 없이 샘플링하고 국부적으로 세분화하며 우선순위를 지정한 재료, 계면 및 물리량에 맞춰 메시를 구성합니다.
등각 메싱은 사용자가 지정하는 방식입니다. 각 축을 개별적으로 세분화하는 반정형 직교 격자를 사용하므로 격자선이 지정한 위치에 정확히 배치됩니다.
세분화
Delaunay 메시에는 일반적인 용도와 소자 전용 용도를 포함한 8가지 국부 세분화 기법이 있습니다. 균일, 불순물, 접합, 등위면, 계면, 형상, 근사 거리 및 품질.
각 기법을 특정 재료 또는 사용자가 정의한 속성에 적용할 수 있습니다. 이를 통해 접합에는 높은 해상도를 적용하고 그 아래 기판은 성기게 유지합니다.
솔리드 모델링
형상을 생성하고 변환하며, 구조를 결합하거나 자르고 해석적 도핑 프로파일을 추가합니다. 사용자 정의 형상과 가우시안 도핑으로 소자를 만들거나 기존 소자를 분해할 수 있습니다.
대표 작업에는 대칭 소자의 일부를 미러링하여 전체를 만드는 작업, 압축된 소자를 실제 치수로 늘리는 작업, 자세히 볼 영역을 자르거나 단면으로 추출하는 작업, 영역을 시뮬레이션된 다결정 결정립으로 교체하는 작업, 기존 구조를 굽히는 작업이 있습니다. 생성하거나 편집한 모든 구조는 시뮬레이션 전에 재메싱할 수 있습니다.
입력 및 출력
n: 2D 또는 3D Silvaco 표준 구조 파일(.str) 및 Victory Process.의 저장 상태
출력: 소자 물리를 위한 Victory Device, 필드 솔버 RC 추출을 위한 Victory RCx 또는 .stl이나 .vtk 형식의 타사 소프트웨어. Deckbuild 인터페이스에서 실행하며 먼저 Victory Visual에서 결과를 확인할 수 있습니다.
TCAD 흐름에서의 위치
입력: Victory Process의 구조 또는 솔리드 모델링으로 여기에서 만든 구조.
전달 대상: Victory Device, Victory RCx 또는 타사 도구.
입력
구조
Victory Process,에서 가져오거나 여기에서 솔리드 모델링으로 생성
현재 도구
Victory Mesh
메시 생성, 세분화 및 편집
출력
Victory Device
소자 시뮬레이션
연계
Victory RCx
필드 솔버 추출
연계
타사 도구
표준 형식: .stl 및 .vtk
발표 자료 및 사용 가이드
논문을 포함한 모든 항목을 양식 작성 없이 열 수 있습니다.
Simulation Standard
2022년 2월
1200 V 수직형 GaN FinFET의 TCAD 항복 시뮬레이션
Dynex Semiconductor의 엔지니어들이 Victory Process에서 수직형 GaN FinFET 공정 흐름을 재구성하고 Victory Mesh로 메시를 생성한 다음 항복을 시뮬레이션했습니다.
웨비나
2022년 2월
Silvaco Victory Mesh TCAD 솔루션으로 소자 메싱 수행하기
등각 및 Delaunay 메싱을 비교하고 각 방식이 공정 구조를 소자 시뮬레이션용 메시로 변환하는 방법을 설명합니다.
Simulation Standard
2022년 2월
Victory Mesh에서 사용자 정의 체적 메시로 구조를 어떻게 재메싱하나요?
Line 문으로 체적 격자를 설정합니다. 솔리드 모델링으로 만든 FinFET와 Victory Process에서 가져온 LDMOS를 예로 보여줍니다.
웨비나
2022년 2월
최적화된 TCAD 소자 시뮬레이션을 위한 Victory Mesh 재메싱 방법
Victory Process 구조에서 소자 시뮬레이션용 메시까지, 계면, 접합, 불순물 및 영역에 등각 및 Delaunay 세분화를 적용합니다.
힌트 및 팁
2022년 2월
Victory Mesh에서 기존 소자 구조를 불러오고 재메싱 및 세분화하려면 어떻게 하나요?
구조 파일 하나를 불러와 프리즘 요소를 사면체로 변환한 다음 재구축 없이 재메싱하고 세분화합니다.
제품 소개서 · PDF
2022년 2월
Victory Mesh: 메싱 및 솔리드 모델링
기능과 양자점부터 MicroLED까지 5가지 실습 구조를 담은 4페이지 자료.
세 가지 시작 방법
Victory Mesh 관련 질문
Victory Mesh는 무엇을 하나요?
Victory Mesh는 TCAD 구조를 솔버에서 사용할 수 있는 메시로 변환합니다. 2D 및 3D 구조를 메싱하고 세분화하며 자르기, 단면 추출, 미러링 또는 늘이기로 편집합니다. 도핑을 포함한 새 구조도 솔리드 모델링으로 생성합니다. 결과는 소자 시뮬레이션 또는 필드 솔버 추출에 사용되며 편집할 때마다 재메싱할 수 있습니다.
TCAD 시뮬레이션에서 메시 품질이 중요한 이유는 무엇인가요?
메시는 솔버가 해석할 수 있는 범위를 결정합니다. 접합이나 계면에서 메시가 성기면 소자 동작을 결정하는 급격한 기울기가 평균화되어 결과에서 사라집니다. 전체를 균일하게 촘촘히 만드는 것이 해결책은 아닙니다. 국부 세분화로 중요한 피처에 요소를 집중하고 나머지 영역은 성기게 유지합니다.
Delaunay 메싱과 등각 메싱의 차이는 무엇인가요?
Delaunay는 자동 비정형 방식으로, 피처를 따르고 선택한 재료, 계면 또는 물리량에 필요한 위치를 세분화합니다. 등각 방식은 사용자가 지정하는 반정형 직교 격자를 축별로 세분화하므로 격자선이 설정한 위치를 유지합니다. 8가지 국부 세분화 기법은 Delaunay에 속하며, 등각 방식은 예측 가능한 격자가 필요한 흐름에 사용합니다.
공정 시뮬레이션 없이 소자 구조를 만들 수 있나요?
예. 솔리드 모델링으로 소자를 직접 생성합니다. 사용자 정의 형상을 만들고 결합하며 해석적 또는 가우시안 도핑을 삽입하고 형상을 변환한 후 재메싱하여 시뮬레이션합니다. 아직 공정 흐름이 없는 형상에 사용할 수 있습니다. 깊게 식각된 트렌치나 텍스처가 있는 태양전지 표면처럼 공정 시뮬레이션으로 만들기까지 시간이 오래 걸리는 피처에도 적합합니다.
Victory Mesh는 어떤 파일 형식을 가져오고 내보낼 수 있나요?
2D 또는 3D Silvaco 구조 파일(.str)과 Victory Process의 저장 상태를 엽니다. Victory Device와 Victory RCx는 각각 소자 물리 및 필드 솔버 RC 추출에 출력을 직접 사용합니다. Silvaco 외부 소프트웨어용으로는 .stl 및 .vtk를 내보냅니다.
Victory Mesh에서 타사 도구로 내보낼 수 있나요?
예. Silvaco 외부 소프트웨어에서 읽는 표준 형식인 .stl과 .vtk를 내보냅니다. 여기에서 메싱하고 세분화한 구조를 이 단계에서 Silvaco 흐름 밖으로 전달할 수 있습니다. 이후 팀이 다음 단계에서 사용하는 타사 도구로 바로 가져갈 수 있습니다.
TCAD 제품군의 다른 도구
Victory Process
Victory Device
Utmost IV
Victory RCx
Victory Mesh