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面向波导和集成光子学的光子仿真

对光在波导、谐振器或耦合器中的实际传播进行全波电磁仿真,使光子集成电路能够按实际制造形态进行评估,而非仅按绘制形态评估。

光子仿真的作用

折射率差将光约束在硅波导中。部分导模位于芯层之外的包层中。这部分尾场决定耦合器的功率传输效率,以及小半径弯曲的泄漏程度。在这些尺寸下,光线模型无法描述光的行为,必须求解电磁场。

每次设计更改若在芯片上测试,就意味着再进行一轮制造。只要模型与实际制造结果匹配,仿真就能把这种扫描分析移出晶圆。侧壁角度、线边缘粗糙度、CD 偏移和拐角圆化都会使实际器件偏离绘制设计的参数。

这对求解器提出了要求:一次运行应返回宽带结果,正确处理色散,并对曲面几何划分网格而不产生阶梯误差。最终应输出电路级工具可用的 S 参数,并足够快地完成灵敏度扫描。XSim Photonics 正是按这一标准构建。

XSim Photonics

面向光子和电磁设计的全波 FDTD,由 Tech-X 开发,现为 Silvaco 产品。同一模型可在笔记本电脑、GPU 集群或 AWS 上运行,因此扩大扫描规模仅需选择合适的硬件。

几何结构

导入 GDS、STEP 和 STL,或在 Composer 3D 几何构建器中创建

求解器

固定或可变网格,共形导体、共形色散介质和电阻性材料

源与边界

输入和输出端口、宽带或单色输入、总场/散射场源、绝热吸收层及相移周期边界

分析

模式求解器、随波长变化的 S 参数、远场和傅里叶变换,以及自定义分析器

工作流程

从设置到分析和可视化均可通过脚本控制

还支持 RF 和天线设计,包括天线阵列。

求解器背后的方法

支持共形色散材料的 FDTD

一次时域运行即可返回整个频谱,因此宽带源可替代波长扫描。共形网格沿弯曲或环形结构的曲线贴合,色散介质则在求解中保留随波长变化的行为。

模式求解

先求解横截面,确定其支持的模式及各模式的有效折射率。将该导模注入 FDTD 仿真后,测得的传输特性便对应于器件本身。

远场与 S 参数提取

随波长变化的 S 参数以电路仿真器可接受的形式给出插入损耗和耦合比。远场变换则展示光离开结构后的行为。

GPU 和云端运行

将一个任务分配到多个 CPU 和 GPU。当灵敏度研究超出单机能力时,可从工作站扩展至超级计算机,或通过 Tech-X CloudCompute 扩展至 AWS。

波导

直线、弯曲、锥形和多材料波导,必要时可加入粗糙度。

调制器

模拟光学部分,同时由 Victory Device 求解底层电学器件。

谐振器

微环的自由光谱范围和消光特性取决于数十纳米宽的耦合间隙。

耦合器和分束器

波导、层间及光纤之间的绝热锥形结构与层间过渡。

完整光子集成电路

由各元件的 S 参数构建,因为对整个电路进行 FDTD 求解通常不切实际。

自 2025 年 4 月 29 日完成 Tech-X 收购以来,XSim 已成为 Silvaco 的一部分。

其名称、公开用户指南和示例均予以保留。Tech-X 创始人 John Cary 现任 Silvaco 高级总监兼 Fellow。

您可在 txcorp.com 查找 XSim 的支持、授权和文档。

已发表的光子学工作

实际发表的内容及其作者。两家公司均未公开具名的光子学客户,因此此处内容均不作为客户案例呈现。

FTCO

硅光子学

按实际制造形态仿真光子器件

Silvaco 的 FTCO 流程将晶圆厂的工艺参数输入模型,使您在流片前发现无源器件中由制造引起的损耗。Victory Process 构建制造后的几何结构,Victory Device 对其运行 GPU 加速的 FDTD,Victory DoE 和 Victory Analytics 负责扫描与优化。由现场应用工程师 John Sembower 主讲。

Tech-X

实例演示

九个 XSim 光子学示例

介质、三材料及圆柱波导的模式计算,以及色散、两种激励方式的微环、绝热锥形分束器和层间斜坡耦合器。其中一个示例模拟粗糙波导。

光学仿真延伸阅读

网络研讨会

2020 年 4 月

太阳能电池、波导和 LED 的光电子仿真

Silvaco 的时域光学方法,包括 FDTD,覆盖三类器件。

演示文稿 · PDF

光学仿真

从光线追踪到 FDTD 的光学方法演示文稿,介绍各方法适用的问题。

Simulation Standard

2010 年 4 月

采用 FDTD 方法研究用于高速光通信的 SiGe 波导光电二极管

采用 FDTD 分析两种用于高速光链路的 SiGe 波导光电二极管。

Simulation Standard

2009 年 4 月

具有超低功耗的电控硅基光子晶体色散补偿器

一种可调谐硅光子晶体补偿器,进行 3D 电学和光学建模,工作功耗为 114 nW。

用您遇到难题的器件进行测试

咨询工程师

提供层叠结构、波长以及表现低于仿真预期的耦合器。Silvaco 应用工程师将与您共同分析。

阅读文档

XSim 用户指南、参考资料和示例在 txcorp.com 公开提供,无需登录。

获取支持

获得授权的 XSim 用户可通过 Tech-X 支持门户提交工单。对于 Silvaco 的其他工具,请从“支持与下载”开始。

工程师关于 XSim Photonics 的常见问题

什么是光子仿真?

它在实际器件几何结构中求解 Maxwell 方程,预测光的传播,而非追踪光线。集成光子结构的尺寸仅为几个波长,这意味着必须计算区域中每一点的场。XSim Photonics 采用全波 FDTD 完成求解,从单一直波导到完整耦合器均可覆盖。

模式求解器告诉您波导横截面可承载什么:模式数量、各模式的有效折射率,以及各模式延伸到包层的距离。FDTD 处理沿长度方向发生变化的结构,例如弯曲、锥形结构和耦合间隙。大多数项目先运行模式求解器,再将其模式传递给 FDTD 进行传播分析。

两者紧密关联。Victory Device 的光学方法,包括光线追踪、光束传播、传输矩阵、模式求解和 FDTD,均位于处理电学器件的同一仿真器中。调制器或光电二极管需要在一个模型中同时处理这两类行为,Victory Device 正是它们的结合点。

可以。XSim Photonics 可在 Windows、Linux 或 Mac 下运行于 NVIDIA GPU 和 x86 CPU,从单台笔记本电脑扩展到集群,并可通过 Tech-X CloudCompute 使用 AWS。在 Silvaco 的 FTCO 光子学流程中,Victory Device 的 FDTD 同样可在 GPU 上运行。

Silvaco 于 2025 年 4 月收购 Tech-X Corporation,XSim 现已纳入其 AI 驱动制造产品组合。文档、示例、授权和支持门户仍位于 txcorp.com。Tech-X 的等离子体工具 VSim 也随此次收购加入,成为 Silvaco 等离子体系列的一部分。

它可读取 GDS、STEP 和 STL。对于集成光子学,GDS 尤其重要,因为版图已采用该格式,Silvaco 的 FTCO 光子学流程也从导入 GDS 开始。如果您希望手动构建几何结构,XSim 提供 Composer 3D 几何构建器。

更多 AI 驱动制造产品

TCAD

Victory Process 和 Victory Device,考虑制造影响的光子学流程背后的工具。

等离子体

检查波导能否按绘制宽度印制。

光刻

VSim Plasma,同样来自 Tech-X 收购。