AI 기반 제조
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AI 기반 제조: 반도체 제조 시뮬레이션 소프트웨어
웨이퍼 공정을 시뮬레이션으로 대체할 때마다 실제 실리콘 비용 없이 한 차례의 학습을 수행할 수 있습니다. Silvaco의 반도체 제조 시뮬레이션은 TCAD 전문가에게 필요한 심층 분석을 제공하며, FTCO를 통해 결과를 바탕으로 조치를 취해야 하는 팹 엔지니어에게도 활용 범위를 넓힙니다.
네 가지 제품군의 반도체 제조 시뮬레이션
각 제품군은 웨이퍼의 소자부터 그 위 챔버의 플라즈마까지 공정의 한 부분을 담당합니다.
TCAD
공정 및 소자 시뮬레이션. 소프트웨어에서 공정 단계를 실행하고 소자가 형성되는 과정을 확인하여 회로 팀에 신뢰할 수 있는 모델을 제공합니다.
이온 주입, 확산, 산화, 식각, 증착, 에피택시, 리소그래피 및 응력을 각 단계의 요구에 따라 1D, 2D 및 3D로 전환하며 시뮬레이션합니다.
사면체 메시 기반의 3D 소자 시뮬레이션: DC, AC 및 과도 해석과 SPICE 회로 내 TCAD 소자 시뮬레이션
나노구조의 원자 수준 수송 시뮬레이션
소자 구조를 위한 2D 및 3D 재메싱과 솔리드 모델링
시뮬레이션한 소자에서 직접 추출하는 RC 기생성분
BSIM-CMG, BSIM4, HiSIM 및 PSP를 포함한 소자 특성화와 SPICE 모델 추출
플라즈마
소자보다 챔버와 레시피를 조정하는 팀을 위한 웨이퍼 수준 플라즈마 모델링.
전체 입자 운동론을 추적하는 Particle-in-cell 플라즈마 시뮬레이션. Victory Process는 피처 수준에서 해당 입자 분포를 가져옵니다.
FTCO
Fab Technology Co-Optimization™: 공정의 디지털 트윈
Victory Analytics: 반도체 데이터를 위한 머신러닝 분석
Victory DoE: TCAD 시뮬레이션을 위한 실험계획법
전체 3D 소자 구조부터 추출한 1D 곡선까지 Silvaco TCAD 결과를 대화형으로 시각화합니다.
리소그래피
웨이퍼에 형성되는 패턴을 레이아웃의 패턴과 일치시키는 전산 리소그래피.
포토닉스
실리콘 포토닉스 및 광전자 소자를 위한 도파관과 광학 부품.
FTCO는 TCAD 제품군을 기반으로 구축되었습니다. AI 대리 모델은 TCAD로 이미 검증된 물리 현상을 학습하므로 팹 및 공정 엔지니어가 직접 질문하고 결과를 얻을 수 있습니다.
당면한 문제에서 시작하세요
해결할 문제를 알고 계십니다. 여기에서 시작해 보세요.
공정을 개발하거나 이전하고, 그 결과로 만들어질 소자를 예측
Victory Process는 구조를 생성합니다. Victory Device는 해당 구조의 동작을 보여줍니다.
공정의 디지털 트윈 구축 및 가상 실험 실행
TCAD는 보정된 물리 모델을 제공합니다. FTCO는 이를 웨이퍼 로트를 투입하기 전에 스윕할 수 있는 대리 모델로 변환합니다.
이 포트폴리오의 지원 범위와
한계
이 도구들의 작업이 끝나면 GDSII 또는 SPICE와 같은 표준 형식으로
기존 흐름에 결과를 전달합니다.
지원 범위
이온 주입부터 응력까지의 공정 단계와 생성되는 소자를 1D, 2D 및 3D로 시뮬레이션합니다.
회로 설계로의 전달: Utmost IV의 콤팩트 모델과 Victory RCx의 기생성분.
원자 수준 수송부터 전산 리소그래피까지 포괄하는 반도체 제조 시뮬레이션.
확장 가능한 물리 모델. Open Model Interface를 통해 공정 모델을 추가하고 Open Material Database를 통해 새로운 재료 또는 파라미터를 추가합니다.
장비 측면. VSim은 플라즈마 챔버를 모델링하고 입자 분포를 피처 수준의 Victory Process로 전달합니다.
지원하지 않는 범위
레이아웃 데이터베이스. Victory Process는 GDSII 파일을 그대로 읽고 이를 바탕으로 구조를 구축합니다.
회로 시뮬레이션. Utmost IV의 출력은 회로 팀이 사용하는 Eldo, HSPICE, LTspice, QSpice, SmartSpice 및 Spectre에서 실행됩니다.
회로 설계, 물리 검증 및 인터페이스 IP. 이는 AI 기반 설계 영역에 속합니다.
내장 모델 집합. Silvaco가 제공하지 않는 물리 모델은 공개된 인터페이스를 통해 추가합니다.
팹 운영. MES, 일정 관리 또는 장비 제어는 제공하지 않습니다. 이 포트폴리오는 공정의 결과를 예측합니다.
수치로 보는 포트폴리오
시뮬레이터에 공정을 맡기기 전에 확인할 실적.
1984
설립
Silvaco는 1984년부터 반도체 소프트웨어를 개발해 왔습니다.
17
파운드리 파트너
ams AG, GlobalFoundries, ON Semiconductor, TSMC, Tower Semiconductor, UMC 및 X-FAB.
10개 중 8개
최대 규모의 디스플레이 제조업체
세계 10대 디스플레이 제조업체 중 8곳이 Silvaco TCAD를 사용합니다.
2
2026년에 발표된 제조 파트너십
NVIDIA: 가속 컴퓨팅에서 실행되는 물리 기반 디지털 트윈. Dassault Systèmes: 새로운 공정을 처음부터 올바르게 구현하기 위한 디지털 트윈 워크플로.
릴리스 및 버전 목록
2025년 기준 릴리스에 따른 포트폴리오 전반의 현재 버전.
| 제품군 | 제품 | 현재 버전 | 릴리스 날짜 |
|---|---|---|---|
| TCAD | Victory Process | 8.57.5.R | 미공개 |
| Victory Device | 2.0.1.R | 미공개 | |
| Victory Atomistic | 1.12.0.R | 미공개 | |
| Victory Mesh | 1.12.0.R | 미공개 | |
| Victory RCx | 1.4.6.R | 미공개 | |
| Utmost IV | 2.24.0.R | 미공개 | |
| 패터닝 | Process Proximity Correction | 기준 릴리스에 미포함 | 미공개 |
| 플라즈마 | VSim Plasma | 기준 릴리스에 미포함 | 미공개 |
| 포토닉스 | XSim Photonics | 기준 릴리스에 미포함 | 미공개 |
또 다른 사업 부문
AI 기반 설계
회로 시뮬레이션, 아날로그 및 커스텀 IC 설계, 라이선스로 제공되는 Design IP. 두 부문은 모델을 통해 연결됩니다. Utmost IV의 SPICE 모델과 Victory RCx의 기생성분은 설계 팀이 시뮬레이션에 사용하는 기반입니다.
기능 목록보다 공정에 대해 이야기해 주세요
유용한 상담은 각 도구가 어떤 기능을 갖췄는지보다 레이어 스택, 노드, 현재 발생하는
문제에 초점을 맞춥니다. 애플리케이션 엔지니어가 네 가지 제품군 중
실제로 필요한 제품군을 안내하고, 어느 것도 필요하지 않다면 그렇게 설명해 드립니다.
자주 묻는 질문
Silvaco는 반도체 제조를 위해 무엇을 제공하나요?
네 가지 제품군에 총 9개 제품이 포함됩니다. TCAD는 가장 큰 제품군으로, 공정 및 소자 시뮬레이션부터 메싱, 원자 수준 수송, 기생성분 추출 및 SPICE 모델링까지 지원하는 6개 도구로 구성됩니다. 리소그래피는 근접 효과 보정, 플라즈마는 식각 챔버, 포토닉스는 광학 부품을 담당합니다.
TCAD, 패터닝, 플라즈마 및 포토닉스 시뮬레이션은 어떻게 연계되나요?
이 중 세 가지는 하나의 공정에서 서로 연계됩니다. VSim은 입자 분포를 Victory Process에 전달하고 Victory Process는 구조를 생성합니다. Victory Device는 해당 구조의 동작을 분석하고 Victory RCx는 기생성분을 추출합니다. 리소그래피는 레이아웃을 구현하기 위해 마스크에 필요한 요소를 결정합니다. 포토닉스는 광학 부품에 적용되는 물리가 다르므로 가장 독립적인 영역입니다.
네 가지 모두 필요한가요, 아니면 하나만 구매할 수 있나요?
개별 구매가 가능합니다. Time-Based Licensing은 도구별로 1년, 2년 또는 3년 기간의 플로팅 라이선스를 제공합니다. 여러 TCAD 도구를 오가는 작업에는 Victory Omni License가 적합합니다. 고정 연간 요금으로 Interactive Tools를 제외한 Silvaco TCAD 소프트웨어를 지원하며 한 번에 하나의 도구를 실행할 수 있고, 기간제 라이선스와 함께 사용할 수 있습니다.
제조 포트폴리오는 Silvaco 설계 도구와 어떻게 연결되나요?
회로 팀이 이미 익숙한 두 가지 출력을 통해 연결됩니다. Utmost IV는 측정 또는 시뮬레이션한 소자 데이터를 SPICE 모델로 변환하고 Victory RCx는 기생성분을 제공합니다. 두 출력 모두 표준 형식이므로 SmartSpice 또는 HSPICE나 Spectre 흐름에서 바로 사용할 수 있습니다.
FTCO란 무엇이며 어디에 속하나요?
FTCO(Fab Technology Co-Optimization)는 AI 기반 제조에 속하며 TCAD 제품군 위에 구축됩니다. 대리 모델은 TCAD로 이미 검증된 물리를 전문가의 개입 없이 공정 엔지니어가 직접 활용할 수 있는 예측으로 변환합니다. Victory Analytics와 Victory DoE 등이 포함되며 FTCO 페이지에서 확인할 수 있습니다.
포트폴리오 전반에서 어떤 파운드리와 공정 노드를 지원하나요?
공정 및 소자 시뮬레이션은 공정 단계부터 GDSII 레이아웃까지 사용자가 정의한 공정을 기반으로 실행됩니다. 따라서 특정 파운드리의 PDK에 종속되지 않습니다. 특정 노드의 지원 범위는 애플리케이션 엔지니어가 확인하며, Silvaco의 7개 파운드리 파트너는 파트너 페이지에 나와 있습니다.
이 도구들은 GPU 또는 HPC 클러스터에서 실행할 수 있나요?
도구에 따라 다릅니다. Victory Process는 멀티스레드를 지원하며, VSim과 XSim을 개발한 Tech-X 팀은 여러 GPU와 노드에 분산되도록 솔버를 설계했습니다. 도구별 하드웨어 요구사항은 공개되어 있지 않습니다. 실행할 도구를 알려주시면 애플리케이션 엔지니어가 사용자의 클러스터와 호환되는지 확인합니다.
제조 시뮬레이션에서 Silvaco는 Synopsys와 어떻게 다른가요?
가장 공정한 비교는 사용자의 공정 데이터로 수행하는 것이며 Silvaco 평가도 이렇게 진행됩니다. 평가 전에 확인할 수 있는 사항도 있습니다. 한 공급업체가 공정, 소자, 리소그래피, 플라즈마 및 포토닉스 시뮬레이션을 제공합니다. GDSII를 입력하고 표준 SPICE 모델을 출력하며, 필요한 물리 모델은 Open Model Interface를 통해 추가할 수 있습니다.
대학 및 연구소를 위한 라이선스 옵션이 있나요?
예. 학술용 조건은 상업용과 별도로 제공되며 연구와 교육을 지원합니다. TCAD Academic Omni License는 하나의 라이선스로 연구실에 모든 TCAD 프레임워크를 제공하며 한 번에 하나의 도구를 실행할 수 있습니다. EDA Academic Suite는 핵심 설계 기능을 지원하고 커리큘럼 패키지는 전체 수업에 한 번에 라이선스를 제공합니다. 200개 이상의 대학이 이 프로그램을 이용하며 신청은 University Program을 통해 접수합니다.
포트폴리오를 어떻게 평가할 수 있나요?
라이선스에 따라 자체 하드웨어와 공정 데이터를 사용하고 애플리케이션 엔지니어와 함께 평가합니다. 먼저 다운로드하는 평가판 빌드는 없습니다. Silvaco가 공개한 Evaluation License Agreement와 상호 NDA가 적용되므로 기술 전문가와 상담하여 평가 범위를 정하세요.