AIを活用した製造
4つのファミリで提供する半導体製造シミュレーション
ウェハ上のデバイスから、その上のチャンバ内にあるプラズマまで、各ファミリがプロセスの一部をカバーします。
TCAD
プロセスおよびデバイスシミュレーション。ソフトウェアでプロセス工程を実行し、デバイスの形成を確認して、信頼できるモデルを回路設計チームに提供します。
イオン注入、拡散、酸化、エッチング、堆積、エピタキシー、リソグラフィ、応力を、各工程の要件に応じて1D、2D、3Dを切り替えながら解析
四面体メッシュによる3Dデバイスシミュレーション：DC、AC、過渡解析に加え、SPICE回路内にTCADデバイスを組み込んだ解析
ナノ構造の原子スケール輸送シミュレーション
デバイス構造の2Dおよび3Dリメッシュとソリッドモデリング
シミュレーションしたデバイスから直接RC寄生成分を抽出
BSIM-CMG、BSIM4、HiSIM、PSPなどに対応したデバイスキャラクタライゼーションとSPICEモデル抽出
プラズマ
デバイスではなく、チャンバとレシピを調整するチーム向けのウェハスケールのプラズマモデリング。
粒子の運動を詳細に追跡するParticle-in-Cellプラズマシミュレーション。その粒子分布をVictory Processがフィーチャスケールで取り込みます
FTCO
Fab Technology Co-Optimization™：プロセスをデジタルツインに
Victory Analytics：半導体データの機械学習分析
Victory DoE：TCADシミュレーションの実験計画法
完全な3Dデバイス構造から、そこから抽出する1D曲線まで、Silvaco TCADの結果を対話的に可視化します。
リソグラフィ
ウェハ上のパターンをレイアウトと一致させる計算リソグラフィ。
フォトニクス
シリコンフォトニクスおよび光電子デバイス向けの導波路と光学部品。
FTCOはTCADファミリを基盤としています。そのAIサロゲートモデルは、TCADで検証済みの物理現象を学習するため、ファブやプロセスのエンジニアが直接解析を行えます。
目の前の課題から始める
課題は明確です。解決に向けた出発点をご案内します。
プロセスのデジタルツインを構築し、仮想実験を実行
TCADが校正済みの物理モデルを提供します。FTCOがそれをサロゲートモデルに変換し、ウェハロットを投入する前にパラメータスイープを実行できます。
このポートフォリオの対応範囲と
対象外の領域
これらのツールの対応範囲を超える作業は、GDSIIやSPICEなどの標準形式を通じて、
既存のフローへ引き継げます。
対応範囲
イオン注入から応力までのプロセス工程と、そこから得られるデバイスを1D、2D、3Dで解析。
回路設計への引き継ぎ：Utmost IVのコンパクトモデルとVictory RCxの寄生成分。
原子スケールの輸送から計算リソグラフィまでの半導体製造シミュレーション。
拡張可能な物理モデル。Open Model Interfaceを通じてプロセスモデルを、Open Material Databaseを通じて新しい材料やパラメータを追加できます。
装置側の解析。VSimがプラズマチャンバをモデル化し、粒子分布をフィーチャスケールでVictory Processへ渡します。
対象外
レイアウトデータベース。Victory ProcessはGDSIIファイルをそのまま読み込み、構造を構築します。
回路シミュレーション。Utmost IVの出力は、回路設計チームが使用するEldo、HSPICE、LTspice、QSpice、SmartSpice、Spectreで利用できます。
回路設計、物理検証、インターフェースIP。これらはAIを活用した設計に含まれます。
内蔵モデルのセット。Silvacoが提供していない物理モデルは、公開インターフェースから追加できます。
ファブの運用。MES、スケジューリング、装置制御は含まれません。このポートフォリオは、プロセスの結果を予測します。
数字で見るポートフォリオ
プロセスの解析をシミュレータに任せる前に確認しておきたい実績。
1984
創業
Silvacoは1984年から半導体ソフトウェアを開発しています。
17
ファウンデリパートナー
ams AG, GlobalFoundries, ON Semiconductor, TSMC, Tower Semiconductor, UMC and X-FAB.
10社中8社
最大手ディスプレイメーカー
世界の上位10社のディスプレイメーカーのうち8社がSilvaco TCADを使用しています。
2
2026年に発表した製造分野のパートナーシップ
NVIDIA：アクセラレーテッドコンピューティングで動作する物理ベースのデジタルツイン。Dassault Systèmes：新しいプロセスを初回から成功させることを目指すデジタルツインのワークフロー。
リリースとバージョンの一覧
2025年のベースラインリリースに基づく、ポートフォリオ全体の現行バージョン。
| ファミリ | 製品 | 現行バージョン | リリース日 |
|---|---|---|---|
| TCAD | Victory Process | 8.57.5.R | 非公開 |
| Victory Device | 2.0.1.R | 非公開 | |
| Victory Atomistic | 1.12.0.R | 非公開 | |
| Victory Mesh | 1.12.0.R | 非公開 | |
| Victory RCx | 1.4.6.R | 非公開 | |
| Utmost IV | 2.24.0.R | 非公開 | |
| パターニング | Process Proximity Correction | ベースラインリリースに含まれません | 非公開 |
| プラズマ | VSim Plasma | ベースラインリリースに含まれません | 非公開 |
| フォトニクス | XSim Photonics | ベースラインリリースに含まれません | 非公開 |
もう1つの事業部門
AIを活用した設計
回路シミュレーション、アナログおよびカスタムIC設計、ライセンス提供のDesign IP。両部門はモデルでつながります。設計チームは、Utmost IVのSPICEモデルとVictory RCxの寄生成分を用いてシミュレーションを実行します。
機能一覧ではなく、お使いのプロセスについてご相談ください
重要なのは、各ツールの機能を確認することではなく、レイヤースタック、ノード、現在発生している
問題について話すことです。アプリケーションエンジニアが、4つのファミリのうち
実際に必要なものをご案内し、いずれも必要ない場合にはその旨をお伝えします。
よくある質問
Silvacoは半導体製造向けに何を提供していますか？
4つのファミリに計9製品を提供しています。最大のTCADファミリには、プロセスおよびデバイスシミュレーションから、メッシュ生成、原子スケール輸送、寄生成分抽出、SPICEモデリングまでを担う6つのツールがあります。リソグラフィは近接効果補正、プラズマはエッチングチャンバ、フォトニクスは光学部品を扱います。
TCAD、パターニング、プラズマ、フォトニクスの各シミュレーションは、どのように関連していますか？
このうち3つは、1つのプロセスの中で互いにデータを受け渡します。VSimが粒子分布をVictory Processに渡し、Victory Processが構造を生成します。Victory Deviceがその動作を解析し、Victory RCxが寄生成分を抽出します。リソグラフィは、レイアウトを転写するためにマスクに必要な補正を決定します。フォトニクスは、光学部品が異なる物理法則に従うため、最も独立性の高い領域です。
4つすべてが必要ですか？単独で購入できますか？
単独で購入できます。Time-Based Licensingでは、ツールごとに1年、2年、3年のフローティングライセンスを提供します。複数のTCADツールを使い分ける作業には、Victory Omni Licenseが適しています。固定の年間料金で、Interactive Toolsを除くSilvaco TCADソフトウェアを利用でき、一度に1つのツールを実行します。期間ライセンスと併用できます。
製造ポートフォリオはSilvacoの設計ツールとどのようにつながりますか？
回路設計チームがすでに使い慣れている2つの出力を通じてつながります。Utmost IVは測定またはシミュレーションによるデバイスデータをSPICEモデルに変換し、Victory RCxは寄生成分を提供します。どちらも標準形式で出力され、SmartSpice、HSPICE、Spectreのフローで利用できます。
FTCOとは何ですか？どのような位置付けですか？
FTCO（Fab Technology Co-Optimization）は、AIを活用した製造の一部であり、TCADファミリを基盤としています。そのサロゲートモデルは、TCADで検証済みの物理現象を、専門家を介さずにプロセスエンジニアが直接利用できる予測に変換します。Victory AnalyticsやVictory DoEなどのツールをFTCOページで紹介しています。
ポートフォリオ全体で、どのファウンデリとプロセスノードに対応していますか？
プロセスおよびデバイスシミュレーションは、工程からGDSIIレイアウトまで、ユーザーが定義するプロセスに基づいて実行されます。そのため、特定のファウンデリのPDKに限定されません。個別のノードへの対応範囲はアプリケーションエンジニアが確認します。Silvacoの7社のファウンデリパートナーは、パートナーページに掲載しています。
これらのツールはGPUやHPCクラスタで実行できますか？
ツールによって異なります。Victory Processはマルチスレッドに対応しています。VSimとXSimの開発元であるTech-Xは、多数のGPUやノードに処理を分散できるようソルバを設計しています。ツール別のハードウェア要件は公開されていません。実行予定のツールをお知らせいただければ、アプリケーションエンジニアがお使いのクラスタへの適合性を確認します。
製造シミュレーションにおいて、SilvacoはSynopsysとどのように異なりますか？
最も公平な比較は、お客様自身のプロセスデータを使うことであり、Silvacoの評価もこの方法で実施します。事前に確認できる点もあります。1社でプロセス、デバイス、リソグラフィ、プラズマ、フォトニクスの各シミュレーションをカバーします。GDSIIを入力し、標準SPICEモデルを出力し、必要な物理モデルはOpen Model Interfaceから追加できます。
大学や研究機関向けのライセンスはありますか？
はい。学術向けの条件は商用とは別で、研究と教育を対象としています。TCAD Academic Omni Licenseは、1つのライセンスですべてのTCADフレームワークを研究室に提供し、一度に1つのツールを実行できます。EDA Academic Suiteは主要な設計機能をカバーし、カリキュラムパッケージはクラス全体にライセンスを提供します。200を超える大学がこの制度を利用しており、申請はUniversity Programを通じて受け付けます。
ポートフォリオを評価するにはどうすればよいですか？
ライセンスの下で、お客様のハードウェアとプロセスデータを使用し、アプリケーションエンジニアの支援を受けながら評価します。事前にダウンロードする試用版はありません。条件はSilvacoが公開するEvaluation License Agreementと相互NDAに基づきます。評価範囲について技術専門家にご相談ください。