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2023年5月19日 本ウェビナーでは、FinFETおよびメモリ製造への応用を題材として、幾何学エッチング・モデルを紹介します。フィン形状や、非理想的なエッチング・プロファイル(ボーイング、ツイスト)、自己整合プロセス(マルチパターニング)を実現する技術を紹介します。
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The past several years has seen a fast deployment of wide-bandgap power devices in fast chargers, electric vehicles, data centers and renewable energy processing. The performance of power devices is
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2023年5月30日 本ウェビナーでは、RPI TFTモデルを理解する上で、比較的難所となるポイントについて解説を試みます。第2回目は、リーク電流モデルを扱います。