半导体工艺与器件仿真
TCAD软件解决方案对于开发新型半导体工艺和器件十分重要,是半导体研发工作的关键。
降低开发成本
- 缩短开发周期。
- ITRS路线图表明,TCAD仿真可以将开发成本降低约30%。
内部物理过程可视化
- 通过仿真,可以观察器件内部信息。实验室测量可以获取一些器件信息,但不能确定为何会出现这些信息,而使用TCAD工具就可以找到原因。例如:
- 由功率器件的反偏特性可知在高反偏电压下发生了什么。在某个特定电压下器件会发生击穿。
- 通过TCAD仿真也可以得到反向电流-电压曲线,重要的是TCAD工具可以探究为什么会发生击穿。在TCAD中,用户可以观察器件内部情况,并确定半导体中哪个区域首先由于高碰撞离化而击穿。
Fab Technology Co-OptimizationTM (FTCO)
Silvaco 的 FTCO™ 解决方案利用人工智能 (AI) 和机器学习 (ML)技术,将物理仿真与实验数据结合,生成了晶圆的数字孪生 (Digital Twin),即一个基于物理的可仿真的数字副本,能够准确镜像真实世界中的形式、适配性和功能。
FTCO 能够优化制造工艺,降低成本,提升良率,最终提高半导体器件的质量并改善制造生产效率。
工艺设计协同优化(DTCO)
- TCAD作为DTCO的一部分,它可以在版图、工艺、器件、 SPICE以及RC提取中优化设计。
- 从TCAD到SPICE完善的流程,整合在DTCO环境中,为电路设计优化提供清晰可操作的结果。
虚拟实验设计
- 实验设计:改变器件版图、工艺步骤或者器件工作条件可以更好的理解和改善器件性能。
- TCAD虚拟实验分析:通过设置器件模型中各种物理量及相关系数,使得理论仿真和实际量测结果相匹配,帮助工程师更好地理解器件特性。
清晰交流问题
- 半导体器件和工艺是一项复杂的工程,工程师需要向不同领域的专家表述问题,并一起合作解决问题。
- 利用TCAD工具,可以清晰交流器件和工艺的改变、器件性能的优化,进而缩短研发周期。
Silvaco TCAD工具拥有独立知识产权,四十年来,服务了上千家商业客户、政府和高校,久经行业验证!
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