• Fab Technology Co-Optimization™:AI驱动的数字孪生模型

将人工智能应用于Fab Technology Co-Optimization™

我们将机器学习(ML,Machine Learning)和数据分析与半导体领域的专业知识相结合,开发了基于人工智能(AI,Artificial Intelligence)的晶圆级制造解决方案:Fab Technology Co-Optimization,简称FTCO™。FTCO利用制造数据进行基于数学统计和物理机制的机器学习仿真,创建晶圆的计算机模型或者称为晶圆的“数字孪生”(Digital Twin),来模拟晶圆的制造过程。作为制造工艺和晶圆的虚拟化,“数字孪生”为晶圆厂和工艺工程师提供了一个实验和测试平台,以深入理解制造过程中参数的变化对晶圆良率的影响,并通过预测良率进一步优化新产品,最终缩短新产品上市周期,而不需要耗时且昂贵的物理晶圆测试。

AI驱动的FTCOTM解决方案平台流程图

FTCO Flow to Digital Twin

Silvaco FTCOTM 解决方案平台

Silvaco FTCO平台利用人工智能和机器学习生成“数字孪生”,即一个基于物理的可仿真的数字副本,能够准确镜像真实世界中的形式、适配性和功能。

  • 数字孪生是复杂的真实系统的虚拟表达
    • 包括组件、器件或者完整的工艺流程
    • 目的是建立与真实世界系统无差别的模型
    • 便捷地洞察设计上的变化对真实系统的影响
  • 在真实系统存在之前就可以构建其数字孪生,进行虚拟的原型设计
  • 在数字孪生建成之后,支持用户进行“what-if”式探索

FTCO将制造工艺的研究变得可视化。用户可以调整工艺步骤的输入条件,以交互的方式查看结构如何变化。

FTCOTM 解决方案平台的构成

  • 机器学习/人工智能分析工具

    Victory Analytics

    专为半导体行业打造的机器学习分析解决方案,功能涵盖数据可视化、输入特征选择和数据训练、建模、优化以及实验设计(DoE)。

  • DoE环境

    Victory DoE
    项目管理和实验设计(DoE)工具,支持用户同时运行多个仿真并收集数据。

  • 数字孪生的DoE核心仿真器

    Victory Process
    工艺仿真器,支持用户构建器件和组件的虚拟工艺流程。
    应力仿真器,详细了解应力如何影响工艺流程。
    Victory Device
    器件仿真器,用于仿真器件的电气特性。
    Victory RCx
    寄生场求解器,探索BEOL工艺的细节。

FTCO RTSM
FTCOTM 解决方案平台