• Fab Technology Co-Optimization (FTCO™) with AI-Driven Digital Twin Modeling

Applying Artificial Intelligence in Fab Technology Co-Optimization™

실바코는 반도체 기술에 대한 전문성을 머신 러닝 및 데이터 분석과 결합하여 웨이퍼 수준의 제조 시설을 위한 FTCO™ (Fab Technology Co-Optimization) 라는 AI 기반 솔루션을 개발하였습니다. FTCO는 제조 데이터를 활용하여 통계 및 물리학에 기초한 머신 러닝 소프트웨어 시뮬레이션을 실행하여, 제조 공정 시뮬레이션에 활용할 수 있는 웨이퍼의 컴퓨터 모델, 즉 “디지털 트윈”을 생성합니다. “디지털 트윈”은 제조 공정과 웨이퍼를 가상으로 표현하여, 제조 공정 파라미터가 웨이퍼의 수율에 미치는 영향을 고객이 이해하고 신제품의 추가 연구에 필요한 수율을 예측하여, 시간과 비용이 소모되는 물리적 웨이퍼를 만들 필요 없이 제품 출시 시간을 단축할 수 있는 플랫폼입니다.

AI-Driven FTCO Platform Flow Diagram

FTCO Flow to Digital Twin

실바코의 FTCO 플랫폼

실바코의 FTCO 플랫폼은 AI와 머신 러닝을 활용하여 물리적 세계의 형태, 적합성 및 기능을 반영한 물리 기반 디지털 트윈을 생성합니다.

  • 디지털 트윈으로 복잡한 실제 시스템을 가상으로 표현
    • 구성 요소, 소자 또는 전체 팹 공정
    • 실제 시스템과 구별할 수 없는 모델링 설계
    • 설계 변경에 따라 실제 시스템의 동작이 어떻게 변화할 것인지에 대한 통찰력 제공
  • 디지털 트윈을 실제 시스템에 앞서 구성할 수 있으며, 가상 프로토타입 가능
  • 디지털 트윈을 통해 “만약의 상황”에 대한 대비 가능

FTCO를 통해서, 실바코는 고려하는 공정 단계에 대해 대화식으로 시각화를 제공합니다. 사용자는 제작 단계에서의 입력을 조정하여 구조가 어떻게 변화할지 대화식으로 확인할 수 있습니다.

FTCO 플랫폼

  • ML/AI 분석 툴

    Victory Analytics

    반도체 산업을 위해 특별히 설계된 머신 러닝 분석 솔루션으로서, 데이터 시각화, 입력 특징 선택 및 데이터 훈련, 모델링, 최적화, DoE로 구성됩니다.

  • DoE 환경

    Victory DoE
    Project Manager 및 Design of Experiment (DoE) 툴을 사용하여 여러 시뮬레이션을 동시에 실행하고 데이터를 수집할 수 있습니다

  • 디지털 트윈에 필요한 DoE 핵심 시뮬레이터

    Victory Process
    공정 시뮬레이터로서 소자 및 구성 요소로 이루어진 가상의 팹 플로우를 구축할 수 있도록 지원.

    응력 시뮬레이터가 응력이 팹 플로우에 미치는 영향을 단계별로 파악
    Victory Device
    공정 후 소자의 전기적 특성을 위한 소자 시뮬레이터
    Victory RCx
    BEOL 공정의 미세한 부분을 탐색하는 기생 필드 솔버

FTCO RTSM