Learn How STMicroelectronics Silicon Carbide (SiC) Research Team uses Silvaco TCAD to Analyze the Impact of Surface Defect Dot on Short Circuit Phenomena in SiC Devices
2024/3/28
シルバコ・ソフトウェアを用いたTCADシミュレーションにより、活性領域に局在する欠陥の短絡現象への影響を調査しました。欠陥ドットが平坦なボディ/ドレイン界面、チャネル領域のSiC/酸化膜界面、湾曲したボディ/ドレイン界面に局在するさまざまなケースを検討し、位置に対する感度も調査しました。