Victory TCAD 솔루션으로 반도체 물질의 응력 및 변형을 시뮬레이션
반도체 소자는 식각, 증착, 열 공정 등, 여러 단계를 거쳐 제작합니다. 각 공정 단계는 응력 프로파일에 변화를 주므로, 단계별로 응력에 대한 기록을 추적할 수 있어야 합니다. 반도체 응력에 대한 실바코의 Victory TCAD 솔루션은 공정 시뮬레이션 플로우와 긴밀하게 통합되어, 기존의 독립형 응력 솔버에 비해 중요한 이점을 제공합니다.
이번 시간에 Victory TCAD 공정 시뮬레이터의 기능과 사용법을 설명하고, 경계 조건, 지원하는 솔버, 시뮬레이션 설정 방법 등, 물질과 시뮬레이션 파라미터의 설정 방법을 살펴봅니다.
또한 반도체 제조에서 관찰되는 응력 문제에 대한 몇 가지 사례를 제시합니다. 여기에는 STI fill 공정에서 FinFET의 구부러짐, 식각 공정에서 일부 물질층의 구부러짐, 열 공정으로 인한 백엔드 금속 라인의 구부러짐 등이 포함됩니다. 마지막으로 와이어 본딩 공정에서 백엔드 금속 응력 시뮬레이션에 대해 논의합니다. 이는 기존 응력 시뮬레이션을 넘어 설계 규칙 점검으로 연결되는 가능성을 보여줍니다.
발표
Jin Cho 박사는 2018년부터 실바코 본사에서 수석 애플리케이션 엔지니어로 일하고 있습니다. 15년간 GLOBALFUNDRIES/AMD에서 14/10nm 로직 기술 개발에 대한 공정/소자 관리자로 근무하였으며, TCAD 그룹을 이끌고 미래 소자 기술을 연구하였습니다. Cho 박사는 스탠포드 대학에서 박사학위를 취득하였습니다.
Artem Babayan 박사는 2006년부터 실바코 영국 사무소의 선임 소프트웨어 엔지니어로서 Victory Process의 코어 시뮬레이션 엔진 개발을 담당하고 있습니다. Babayan 박사는 러시아 Rostov 주립대학에서 응용수학 박사 학위를 취득하였습니다.
참석 대상
공정 시뮬레이션에서 응력의 영향을 시뮬레이션하는 데 관심있는 엔지니어 및 경영진.
일시: 2021년 3월 19일
장소: 온라인
시각: 3:00am-3:30am (한국 시각)
언어: 영어