실바코의 Victory TCAD 솔루션을 통한 새로운 확산 모델 구축
이번 시간에 Victory Process에서 TCAD 시뮬레이션을 하기 위해 확산 모델을 생성하는 방법을 소개합니다.
다음 내용에 대해 살펴봅니다.
- 어닐링 모델 라이브러리의 기본
- 모델 파일의 로컬 복사본 생성 및 사용
- 간단한 확산 모델 구현
- 모델 컴파일 및 시뮬레이션에 활용
발표
Vito Simonka 박사는 Maribor 대학에서 물리학 학사(2012년) 및 석사(2015년) 학위를, 빈 공과대학의 마이크로일렉트로닉스 연구소에서 박사(2018년) 학위를 받았습니다. 실바코 유럽에서 TCAD 개발 엔지니어로서 최첨단 반도체 공정 시뮬레이션을 담당하고 있습니다. 실리사이드 외에 확산 모델, 물질 데이터베이스, 임플란트 모듈, 산화 기능에 많은 기여를 했습니다.
참석 대상
반도체 공정 시뮬레이션, 특히 반도체 내부의 확산에 관심있는 소자 및 공정 엔지니어, 관리자.
일시: 2021년 4월 9일
장소: 온라인
시각: 2:00am-2:30am (한국 시각)
언어: 영어