실바코 TCAD 소개 및 기본 – 튜토리얼
실바코 TCAD는 반도체 기술 개발에 유용한 애플리케이션에 폭넓게 사용합니다. TCAD는 소자 제작 및 동작에 대해 심층적인 이해를 제공합니다. 경험적으로 얻기 어려운 통찰력을 제시하여, 반도체의 R&D에 활용할 수 있습니다. TCAD는 소자 성능 향상, 수율 증가, 출시 기간 단축에 도움이 됩니다.
그러나, TCAD를 적용하는 것은 상당한 학습이 필요하며, 엔지니어는 물리학자, 전기 엔지니어 또는 회로 설계자로서 자신의 기술과 경험을 활용해야 합니다. 그러한 지식을 TCAD 활용에 적용하면 시뮬레이션 목표를 달성할 수 있습니다. TCAD 소프트웨어는 업계 및 학계의 물리학 지식, 고급 수치 해석, 사용자 인터페이스, 자동화를 결합하여 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다.
3부로 구성된 이 강좌에서 실바코의 TCAD 소프트웨어 제품군을 소개하고, 초보자 교육 및 학습을 제공합니다. TCAD에 대해 단계적인 학습을 통해, 시뮬레이션을 성공적으로 수행할 수 있을 것입니다.
3부 – TCAD 공정 시뮬레이션
이번 시간에 Victory Process와 함께 TCAD 공정 시뮬레이션에 대해 논의합니다. 반도체 공정 시뮬레이션, 구조 설계 및 공정 에뮬레이션 등의 기본 사항에 대해 살펴봅니다.
제작 공정의 시뮬레이션은 반도체 소자 제조 공정을 최적으로 시뮬레이션하기 위한 물리, 수치 방법 및 구조 매쉬에 대한 이해가 필요합니다. 일반적인 입력 데크의 플로우와 다양한 파라미터를 설명하고, TonyPlot을 통해 구조를 시각적으로 확인하고 분석하여, Victory Process에서 작업을 시작하기 위한 기본적인 이해를 제공합니다.
다음 사항을 살펴봅니다.
- Victory Process 툴을 사용한 소자 공정 시뮬레이션의 주요 동작
- Victory Process 입력 데크의 전체 플로우, 출력 및 결과 분석
- 최적의 구조 매쉬에 대한 정보
- Tonyplot, 컷라인, 도핑 프로파일, 잠재적 프로파일 등을 사용하여 소자 구조 분석
- 이용할 수 있는 예제 및 리소스
발표
Udita Kapoor는 캘리포니아주 본사의 TCAD 부서에서 현장 어플리케이션 엔지니어로서 일하고 있습니다. 2019년 실바코에 입사하였으며, 공정 시뮬레이션에 대한 지원을 담당하고 있습니다. 뉴욕 로체스터 공과대학에서 마이크로 전자공학 석사 학위를 받았습니다. 고전적/비고전적 소자 시뮬레이션에 대해 연구하였으며, 원자 모델링과 2D 소자 시뮬레이션을 활용한 물질 특성 업무에 전념하였습니다.
일시: 2019년 5월 29일
장소: 온라인
시각: 3:00am-3:30am (한국 시각)
언어: 영어
참석 대상
반도체 기술에 대한 물리적 시뮬레이션에 관심있는 학계, 엔지니어, 재료 과학자 및 경영진