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File name:

1-003_Variation-Manager-Fast-Monte-Carlo_ja.pdf

Publication Date:

Jul 18, 2018

Size:

1.84 MB

Description:

過去40年間、プレーナ型CMOSプロセスのもと、半導体 業界は世界的に繁栄してきています。しかし、FinFETデ バイスの出現とともにテクノロジがナノメータ領域へと 縮小するにつれ、特にデバイス間のばらつきが、製造を 行う際の大きな課題になってきています。ばらつきはト ランジスタの電気的特性に影響し、その結果、集積回路 の性能と機能に悪影響を及ぼします。


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